热式气体质量流量计检定规程_热式气体质量流量控制器和流量计有哪些区别以及使用方法...

热式气体质量流量控制器和流量计主要的区别在于&＃xff1a;气体质量流量控制器可以通过自身带的阀门做PID调节程序&＃xff0c;能够自动的调节和控制阀门的开度&＃xff0c;来达到控制气体的质量流量。气体质量流量计主要是通过传感器&＃xff0c;感应气体的流量大小&＃xff0c;并输出到数据采集器。热式气体质量流量控制器和质量流量计的最大优点就是检测出来的实际数据&＃xff0c;不会受到温度和压力的影响&＃xff0c;实测数据用户也无需在进行温度和压力补偿的换算。

质量流量控制器(MFC)由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门&＃xff0c;闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源、数字电压等。

LF系列的气体质量流量控制器和质量流量计主要用于&＃xff1a;扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备、微反应装置、混气配气系统等制造设备中&＃xff0c;并广泛应用于石油化工、制药、冶金等行业。